工艺与制程分析设备，整片与散粒都能测：石英晶圆白片、腐蚀片，镀膜片（视膜层与电极接触情况而定），以及划片后的散粒平片与散粒 MESA。CCD 视觉自动识别晶片边框，逐个测量各位置晶片中心的频率；电极头与晶片之间的气隙高度自动调整，分辨率达微米级，结果自动生成 Excel 报表。
CCD 识别边框，逐点定位并测频。
对 MESA 结构单独识别，消除偏心误差。
调零精度 0.002 mm，消除人为误差。
通过 Excel 指定测点，报表自动输出。
南京市玄武区康园路 20 号空间大数据 C 栋 2 层周一-周六 8:30–17:00
联系我们 →
