工艺与制程分析设备，适应石英晶圆在开发设计以及小规模生产各环节的表面形态分布分析。CCD 视觉定位晶圆边框，通过测试基片各位置的频率计算厚度，得出整片表面形态分布，并形成 Excel 报表、彩色分布云图与 3D 立体图。
方晶圆对角线 <100 mm 同样可测。
逐点测频，换算整片厚度分布。
同一片翻面重测，平均值与 RMS 误差 0.003 μm，PV 误差 0.01 μm。
PV、RMS、AVG、SizeX/Y 直接给出。
南京市玄武区康园路 20 号空间大数据 C 栋 2 层周一-周六 8:30–17:00
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